电加热水洗式 机台产品概观
型号:Kylin TW1000
适用制程
适用于半导体制程(CVD/PVD/DIFF/ETCH)
全新系统设计
采用先水洗再加热再水洗的三位一体处理系统设计,延长设备维护周期
电加热反应腔
可调节的温度区间提高了控制废气处理温度的灵活性
独立的加热棒设计提高热效率
可维护性、安全性增强
PLC安全互锁系统
烟感、门禁、漏液等互锁装置保证机台安全稳定运行
部件模块化设备便于拆装维护
高利用效率
高流量以及多进口设计,可以连接多个制程工艺
较小的占地面积