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京仪 电加热水洗式 机台产品

京仪  电加热水洗式 机台产品

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  • 更新时间:2022-01-05 15:28
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电加热水洗式 机台产品概观

型号:Kylin TW1000

适用制程

适用于半导体制程(CVD/PVD/DIFF/ETCH)

全新系统设计

采用先水洗再加热再水洗的三位一体处理系统设计,延长设备维护周期

电加热反应腔

可调节的温度区间提高了控制废气处理温度的灵活性

独立的加热棒设计提高热效率

可维护性、安全性增强

PLC安全互锁系统

烟感、门禁、漏液等互锁装置保证机台安全稳定运行

部件模块化设备便于拆装维护

高利用效率

高流量以及多进口设计,可以连接多个制程工艺

较小的占地面积