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京仪 等离子水洗式 机台产品

京仪  等离子水洗式 机台产品

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  • 更新时间:2022-01-05 15:26
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产品详情

产品参数

产品图片

型号:Kylin PW1000

适用制程

适用于半导体制程(CVD/PVD/ETCH/DIFF)和面板行业

对全氟化碳(PFC)气体处理的效果卓越

全新系统设计

等离子弧火焰超过3000℃,可以高效处理PFC气体

低耗电量,等离子电源能耗可根据应用制程进行调节

Plasma反应腔

耐腐蚀材料应用提高了部件的使用寿命

反应腔采用水冷

可维护性、安全性增强

PLC安全互锁系统

烟感、门禁、漏液等互锁装置保证机台安全稳定运行

部件模块化设备便于拆装维护

高利用效率

高流量以及多进口设计,可以连接多个制程工艺

较小的占地面积