型号:Kylin PW1000
适用制程
适用于半导体制程(CVD/PVD/ETCH/DIFF)和面板行业
对全氟化碳(PFC)气体处理的效果卓越
全新系统设计
等离子弧火焰超过3000℃,可以高效处理PFC气体
低耗电量,等离子电源能耗可根据应用制程进行调节
Plasma反应腔
耐腐蚀材料应用提高了部件的使用寿命
反应腔采用水冷
可维护性、安全性增强
PLC安全互锁系统
烟感、门禁、漏液等互锁装置保证机台安全稳定运行
部件模块化设备便于拆装维护
高利用效率
高流量以及多进口设计,可以连接多个制程工艺
较小的占地面积