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京仪 晶圆传片机

京仪  晶圆传片机

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  • 更新时间:2022-01-05 15:25
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全自动晶圆传片机,主要用于晶圆的传送、定位和排序。

产品特点:

独立自主知识产权的直线型单臂机械手,具有高可靠性、高稳定性。

设备配有高效FFU,采用全封闭结构,可发挥超洁净性能,其洁净度达Class1。

可实现对晶圆缺口的检测并依据缺口位置对晶圆进行定位。

配备高精度CCD传感器及图像处理软件,可对晶圆ID刻号进行识别与读取;

可依据客户需求,非标定制。