全自动晶圆传片机,主要用于晶圆的传送、定位和排序。
产品特点:
独立自主知识产权的直线型单臂机械手,具有高可靠性、高稳定性。
设备配有高效FFU,采用全封闭结构,可发挥超洁净性能,其洁净度达Class1。
可实现对晶圆缺口的检测并依据缺口位置对晶圆进行定位。
配备高精度CCD传感器及图像处理软件,可对晶圆ID刻号进行识别与读取;
可依据客户需求,非标定制。