机器人和设计的SCARA机器人使用单/双臂和1或2个刀片快速精确地传输300mm晶圆(12英寸)。它占地面积小,可以在很宽的运动范围内有效利用空间,因此无需横向轴即可访问 2 个端口(修改臂时可以使用 3 个端口)。它可以根据要求定制(长 SCARA 是可定制的)。