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Schmid 载体装载机 + 卸载机

Schmid 载体装载机 + 卸载机

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  • 更新时间:2021-12-07 14:22
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晶圆/电池在各个工艺步骤之间手动或使用 Montrac 系统在专门开发的 SCHMID 载体中运输。满载的载具在装载机中成排放置并被驱动到转移位置。在这里,晶片/电池通过索引系统从承载隔间中移出,然后送入加工机器。相反,卸载器拾取处理过的晶片/电池并确保 SCHMID 载体均匀填充。为此,晶圆/电池在速度控制的传送带上与行同步,并通过索引系统逐渐存储在空的承载隔间中。