运输过程中基材上无划痕
夹持器借助超声波存储技术将晶片保持一定距离,从而实现非接触式传输。除了微小的划痕和裂纹,还避免了颗粒的污染,因为没有压缩空气就不会发生空气湍流。因此,该夹具特别适用于极其洁净的洁净室。LeviWafer抓爪可以设计为单桨或双桨。
LeviWafer抓手的特点:
非接触式录音
没有微刮痕,微裂纹或颗粒
适用于标准暗盒
低能耗
可根据客户要求定制