当从上方抓取晶片时,使用了负压和超声波的组合。负压确保了晶片的吸引力,而具有排斥作用的超声波使工件保持一定距离。这意味着在太阳能晶片和夹持器之间不会出现接触点,从而确保了轻柔的操作。
LeviSolar夹持器可用于不同尺寸的晶圆。边缘挡块用作对中的支撑,以便将晶片固定在适当的位置。
LeviWafer抓手的特点:
非接触式顶部抓握
无杂质残留
没有微刮痕
无需使用压缩空气