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弥费实业天车OHT

弥费实业天车OHT

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  • 更新时间:2022-11-25 12:05
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半导体晶圆厂晶圆载具(FOUP,FOSB,POD,RETICLE POD,)空中自动传送设备

由弥费自主研发生产,通过弥费自主研发的物料调度软件系统MSTC控制,从而完成物料(Pod、Cassette、Foup……)从A站点到B站点的自动传送过程。遵循半导体设备标准通讯协议,包括SEMI E82、SEMI E84、SEMI E99等,使其易接入半导体工厂的上层系统来实现数据交互,达到SEMI的标准。