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机器人研抛一体机

机器人研抛一体机

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基于工业机器人的小工具加工机床,利用小工具在元件表面高速旋动,实现对平面、球面及非球面元件面形快速收敛。

利用自主研发的基于力控传感器的柔性抛光头,确保抛光过程中材料去除函数稳定可控,从而实现超精密元件表面的高精度加工,配合全链路工艺、软件,实现光学元件从研磨到精密抛光的全链路加工。