自动导向车
工业机器人
服务机器人
特种机器人
自动化系统
零部件OS Tester
用于TFT LCD生产Array段检查基板电路断路/短路的高精度检测设备
使用先进的非接触技术，超过60台的业绩。
产品特点：
适用对象：TFT-LCD、TP、LTPS、OLED；
可检测缺陷：Gate/Cs/Data open/short/cross short；
即时在线检测；
模块化设计，标准化CIM通讯软件。
核心技术：
多轴高精度运动控制技术；
非接触式检测技术；
高精密一次全面检出技术；
高精度精密加工、组装、调试调试。
性能参数：
缺陷检出率可高达99%；
26轴高精度运动控制， 各轴的重复定位精度达到5微米；
单轴移动速度达到800mm/s；
检测传感器与玻璃之间的间隙在100微米以内；
可测试的电子线路最小宽度可达到2微米；
相邻电子线路之间的间距最小可以达到28微米；
可检测基板最薄0.4mm。
粤公网安备 44010602004352号