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半导体制程FOUP/FOSB/Cassette搬运

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  • 更新时间:2020-02-18 11:38
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KFR MM-500适用于半导体制程前道、中道与后道环节,实现对FOUP、FOSB及Wafer Cassette的平稳取放,适用于万级无尘车间。