3月25日，SEMICON China 2026 在上海新国际博览中心隆重开幕，SEMICON China国际半导体展是全球规模最大、影响面最广的集技术、产业、市场、创新、投资于一身的半导体产业盛会。此次展会，新松半导体携真空直驱机械手亮相。

新松展位▼

在SEMICON China 现场，新松展出的真空直驱机械手得到现场观众广泛关注。该产品是半导体制程的核心传输设备之一，解决了真空腔室内晶圆自动化输送的“卡脖子”难题。新松真空直驱机械手采用直驱电机结构，最大限度减少震动，保障传输过程安全、稳定、可靠。产品拥有领先的重复定位精度、高效的传输节拍、灵敏的碰撞保护以及AWC动态纠偏等功能，可根据用户需求定制手臂长度和手指形式，胜任不同尺寸规格的晶圆搬运。

新松真空直驱机械手已通过SEMI权威认证，广泛应用于PVD、CVD、刻蚀等集成电路整机装备中，打破国外技术垄断，核心技术完全自主可控。

新松半导体总经理程龙与客户洽谈交流▼

来自各国的客户莅临新松展位参观交流▼

新松半导体设备有限公司简介

新松半导体设备有限公司业务涵盖半导体晶圆传输专用设备的研发、生产、销售与技术服务。打造了拥有完全自主知识产权的自动化核心系列产品，技术指标达到国际同类产品先进水平。创新产品现已广泛运用于各种半导体工艺制程,为世界各地的的半导体设备供应商提供高效和可靠的自动化解决方案。

新松半导体核心产品主要为真空机械手及集束型设备，包括大气机械手、EFEM、真空机械手及真空传输平台等系列产品，主要应用于刻蚀、薄膜沉积、离子注入等工艺环节及领域，广泛服务于硅片生产、晶圆加工、先进封装及封装测试等半导体制造全产业链。

SEMICON China 2026

时间：2026年3月25-27日

地点：上海·新国际博览中心

展位号：N3·3243

新松机器人自动化股份有限公司（以下简称“新松”）成立于2000年，隶属中国科学院，是一家以机器人技术为核心的高科技上市公司。作为中国机器人领军企业及国家机器人产业化基地，新松拥有完整的机器人产品线及工业4.0整体解决方案。以创新、开放和共赢的思维引领行业进步，以领先的产品和服务为全球客户持续创造价值。新松本部位于沈阳，在上海设有国际总部，在沈阳、上海、杭州、青岛、天津、无锡建有产业园区。同时，新松积极布局国际市场，在韩国、新加坡、泰国、香港等地设立多家控股子公司，现拥有4000余人的研发创新团队，形成以自主核心技术、核心零部件、核心产品及行业系统解决方案为一体的全产业价值链。

作为中国机器人产业头雁，新松已创造了百余项行业第一。成功研制了具有自主知识产权的工业机器人、协作机器人、移动机器人、特种机器人、服务机器人五大系列百余种产品，面向智能工厂、智能装备、智能物流、半导体装备、智能交通，形成十大产业方向，致力于打造数字化物联新模式。产品累计出口30多个国家和地区，为全球3000余家国际企业提供产业升级服务。

新松紧抓全球新一轮科技革命和产业变革契机，发挥人工智能技术的赋能效应，以工业互联网、大数据、云计算、5G网络等新一代尖端科技推动机器人产业平台化发展，打造集创新链、产业链、金融链、人才链于一体的生态体系。聚焦核心技术，共享智能时代。

智慧新松，创领未来！