IRB 1300 PECVD硅片装卸站
IRB 1300标配IP40防护等级。用户可以选配IP67防护等级,以阻挡固体颗粒和水分浸入;也可以选择Foundry Plus2版本,这一版本专为铸造厂和其他金属加工厂等极端恶劣环境而设计。IRB 1300还可选配IPA洁净室防护标准。
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