灰尘、花粉、悬浮物、气溶胶……在1m³的空气中可以测量到多达1000万个异物颗粒。而在半导体生产中，高度洁净的环境对产品的质量和性能至关重要，每一个微粒都可能损害微芯片的功能。

根据 ISO 洁净室等级，半导体生产环境中每立方米空气中记录的颗粒尺寸仅为 20-30 µm。

史陶比尔在半导体行业拥有长久的历史, 积累了大量的洁净室相关经验，深知洁净度对半导体行业的重要性：

用于生产半导体的设备本身也必须在洁净室条件下制造。

例如，完整的光刻机系统的重量可能超过100吨，因此还必须保证所有系统组件在装配过程中可以洁净地进行运输。

史陶比尔 WFT 与两家知名半导体生产设备制造商合作，为其定制洁净版重载AGV，用于在洁净室里搬运重达24 吨的光刻机设备部件。

融入洁净室生产环境

与传统应用场景不同，在半导体设备生产的洁净室环境中引入AGV，与流程的连续性和自动化无关。

引入AGV 的目的在于限制设备与人员的接触，降低潜在污染源。

由于AGV不会离开生产区域，因此它也不会引入其他细小颗粒。而起重机会存在掉落磨损碎片的风险，所以重型设备及其组件都必须沿着地面来进行运输。

在为两家知名半导体生产设备制造商定制洁净版AGV的过程中，史陶比尔WFT积累了大量经验，大到外壳材料，小到电缆护套必须经过退火或涂层覆盖的表面处理等工艺。

独立洁净室生产车间内，装配人员经过专业训练，穿着洁净室服装并使用洁净室兼容的工具进行装配。

开辟洁净室AGV专用生产区

为了满足半导体行业的严格需求，史陶比尔WFT为其 AGV 建立了专用的洁净室生产基地。清洁的 AGV 部件、受控气流和特定的洁净室服装是构建洁净室AGV内部流程的一部分。

想在洁净室引入AGV的客户向我们提供了非常全面的清洁度规范。许多所需的材料已经过测试，此外，一些材料（通常是塑料）未在规范中列出，我们会对其进行广泛的测试。——史陶比尔 WFT 项目经理 Fabian Forster

这些测试包括在产品生命周期内的释气性以及在AGV运行过程中可能引起的磨损，每个测试都会被详细记录，从而最大限度降低颗粒物的排放。

成熟可靠的AGV产品

事实证明，史陶比尔WFT 成熟的AGV产品为客户在洁净室内实现昂贵部件搬运提供了可靠保障：

史陶比尔WFT AGV最高有效负载可达450吨，产品融合了独特的全向驱动专利技术，可提供差速运动、全向运动两种不同移动方式，在狭小拐角独具优势。

机身紧凑实用，采用可扩展的模块化设计，易于维护，可根据不同的应用场景及客户需求更改配置。

史陶比尔集团是工业连接器、工业机器人和纺织机械这三大领域机电一体化解决方案的全球专业供应商。作为一个跨国集团公司，史陶比尔在29个国家/地区设立分公司，代理商遍及四大洲50个国家/地区。我们全球5500多名员工都致力于与几乎是所有行业的客户通力合作，以提供全面的解决方案和长期的支持。1892年，史陶比尔在苏黎世湖畔创办，最初只是一个家庭作坊，如今已发展成一家总部位于瑞士法菲孔(Pfäffikon)的跨国集团。