发布询价单
您的位置:首页 > 资讯 > 企业动态 > 正文

复合机器人如何助力半导体晶圆智造?

2022-09-14 09:28 性质:转载 作者:斯坦德机器人 来源:斯坦德机器人
免责声明:AGV网(www.chinaagv.com)尊重合法版权,反对侵权盗版。(凡是我网所转载之文章,文中所有文字内容和图片视频之知识产权均系原作者和机构所有。文章内容观点,与本网无关。如有需要删除,敬请来电商榷!)
国内某知名半导体晶圆制造企业自2020年开始在多个厂区累计投入近50台斯坦德潜伏式和复合式AMR,实现了整厂生产物流自动搬运及智能化管理,使整个生产智能化程度迈上一个新台阶。在该企业的晶圆制造...

国内某知名半导体晶圆制造企业自2020年开始在多个厂区累计投入近50台斯坦德潜伏式和复合式AMR,实现了整厂生产物流自动搬运及智能化管理,使整个生产智能化程度迈上一个新台阶。

在该企业的晶圆制造车间,斯坦德根据车间不同机台的上下料对接、搬运频次、晶圆特性,针对性地规划了以复合机器人搬运晶圆盒上下料、E-Rack库位管理、RIoT智能调度为核心的柔性物流解决方案

本项目覆盖整个晶圆制造车间,涉及待加工物料与E-Rack对接、晶圆盒在各工序的上下料及工序环节之间的流转。

01、涉及到7大工序,对接设备机台多,流程复杂,AMR必须精准配送物料。

02、车间内空间狭窄,人车混行,需要实现安全避障

03、晶圆易碎且贵重,机器人要保障运行平稳、低振。

04、晶圆制造车间洁净度要求高,AMR需要满足高洁净标准。

项目覆盖氧化扩散、光刻、刻蚀、薄膜沉积、离子注入、清洗与抛光、金属化七大流程,AMR能高效、准确、灵活地完成晶圆的搬运、转运及上下料全流程自动化

斯坦德机器人(深圳)有限公司,专注于工业级移动机器人的研发与生产,实现了从机器人底层定位算法、操作系统、控制器等核心元素的自主研发全覆盖,主要产品为激光导航AGV及其调度系统。

斯坦德机器人(Standard Robots)致力于为优秀的系统集成商及终端制造工厂寻找标准化、可复制的算法应用场景,实现其柔性化、敏捷化的厂内物流需求,为客户践行轻资产、回报快的初期物流投入,为行业构建信息化、数据化的物流基础设施,是全球真正践行把激光导航AGV应用于华为、中兴、富士康等实际工业物流领域的高科技企业。

网友评论
文明上网,理性发言,拒绝广告

相关资讯

关注官方微信

手机扫码看新闻