6双面研磨机-15B-6（三电机）

7双面研磨机-15B-7（三电机）

8双面研磨机-16B-5

9双面研磨机-16B-8

10双面研磨机-18B-5

11双面研磨机-18B-9

设备亮点

~ 机架采用龙门架结构，承压能力强，能有效满足设备在高负载下持续高速稳定运转。

~ 上、下盘及太阳轮采用电机单独驱动形式，控制部分采用变频电机+变频调速器，确保设备在加、减速、停止及换向的稳定性。

~ 传动方式采用斜齿轮机构，有效预防产品易碎情形。

~ 保证设备下磨盘在运转过程中的精度与钢性，主轴采用高精度交叉滚子轴承，可承受轴向力与径向力，同时克服倾覆力矩。

~ 上盘在下降过程中设置了快降及缓降两程模式，气缸行程可调，在行程范围内及产品可接受范内，可调节行程达到最佳态。

~ 采用精密比例阀调整生产设备的压力，可按不同的产品加工工艺来设定工作压力。

~ 游星轮传动采用柱销结构，传动平稳无冲击，有效提高游星轮的使用次数；柱销齿采用销套结构，销套用不锈钢材料经热处理加硬，防锈耐磨，柱销齿磨损后只需更换销套，方便简单，成本低 。

双面铜盘机

设备介绍

双面铜盘机主要用于硅片、砷化镓片、陶瓷片、石英晶体及其它半导体材料的双面高精度研磨、抛光，也适用于其它金属、非金属、光学玻璃、蓝宝石等硬、脆、薄材料的双面高精度研磨或抛光。

设备亮点

~ 上下盘采用通水冷却系统，加工时可控制在一定范围内，同时保证工作效率及产品质量。

~ 机架采用龙门式经构，钢性好，能满足在高负载下高速稳定运行。

~ 太阳轮运动部分由四个变频电机+变频调速器单独控制；运行速度可任意调节，实现加、减速、停止及换向平稳的运行，防止薄脆产品易碎。

~ 设备自带圆盘修复系统，通过伺服驱动修复系统在设备上自动对上下盘进行修复，从而保证整机精度。

~ 上盘在上、下运动时采用低摩擦气缸+SCBS自动补偿平衡系统，通过滚珠花键副，平稳地实现高精度压力控制。

~ 游星轮传动采用柱销齿结构，并采用伺服系统实现太阳轮和齿圈的同步升降，传动平稳无冲击，极大提高游星轮和柱销齿的使用寿命，大大降低机器的维护时间和成本。

苏州博众精工科技有限公司是一家集销售、研发、生产和服务于一体的系统集成商。公司成立于2001年，总部位于江苏苏州，在美国以及上海、深圳、北京、重庆等国家和地区设有分公司。

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